Описание функции продукта:

Технология плазменной очистки возникла около 30 лет назад в полупроводниковой промышленности, где плазменная очистка в основном используется для очистки поверхности углеводородов. Ключевым моментом плазменной очистки является то, что химический состав самого образца не может быть изменен; Невозможно изменить структурные характеристики образца; Нельзя повредить поверхность образца.
SOLARUS - новая усовершенствованная система очистки плазмы для удаления углеводородного загрязнения TEM и SEM стендов или образцов. Solarus - это плазменная система нового поколения, новые концепции и технологии, которые трансформируют ее, чтобы сделать ее более производительной, простой в эксплуатации и хорошей очисткой. По сравнению с любой другой системой очистки плазмы на рынке, Solarus обеспечивает эффективный эффект очистки.

Презентация марки:

Американская компания GATAN была основана в 1964 году и вышла на китайский рынок в конце 1970 - х годов. Компания GATAN имеет высокую репутацию в мировом сообществе зеркал благодаря высокой производительности и технологическому прогрессу своей продукции.

Являясь мировым лидером в области проектирования и производства аксессуаров для улучшения и расширения функций электронного микроскопа, его продукция охватывает все этапы, от подготовки образцов до визуализации и анализа. Сфера применения продукции включает в себя области материаловедения, наук о жизни, геофизики, электроники, энергетических наук и т. Д., Круг клиентов охватывает научно - исследовательские институты, университеты, различные испытательные агентства и лаборатории крупных промышленных предприятий по всему миру, а также получил широкое признание в области международных научных исследований.

Дистрибьютор представляет:

Obbo Tong Co., Ltd. является ведущим поставщиком услуг в области микронанотехнологий в Китае, является высокотехнологичным предприятием с иностранными предприятиями в качестве инвестиционного фона, штаб - квартира находится в Гонконге, имеет филиалы и офисы в Пекине, Шанхае, Ляонине и Шаньдуне соответственно. Будучи важным стратегическим партнером электронного микроскопа Symerfei, сканирующего электронного микроскопического оборудования GATAN и связанного с ним аналитического оборудования в Китае, компания придерживается бизнес - концепции « создания бренда по продаже инструментов для внутреннего влияния», объединяется с брендами Symerfei и GATAN и предоставляет высококачественные продукты и международные технические услуги десяткам тысяч китайских пользователей.

Основные технические характеристики продукции:

Solarus - это уникальное решение для очистки, которое использует плазменную формулу и обеспечивает более быструю и тщательную очистку всех образцов, включая углеродную пленку Holey. Устройство безопасно очищает поверхностные отложения от загрязняющих веществ, расширяя время наблюдения за уже загрязненными образцами. Вакуумная система с молекулярным насосом в сочетании с многоступенчатым мембранным насосом обеспечивает быстрый и надежный эффект откачки. Менее 1 минуты времени вытяжки и выпуска, 30 секунд - 2 минуты времени очистки, весь процесс занимает не более 2 минут.

Преимущества использования плазменной очистки:

Расширение возможностей получения изображений

Повышение точности анализа элементов

В SEM время наблюдения и сбора EDX и EBSD увеличивается

Можно использовать меньшие пятна пучка, что важно для анализа STEM и EELS в TEM / STEM.

Основные технические параметры продукции:

Радиочастотный источник: радиочастотный источник питания мощностью 50 Вт с функцией автоматического согласования мощности

Вакуумная система: молекулярный насос объемом 70 л / с с двухступенчатым мембранным насосом

Давление воздуха: базовое давление 5E - 6 Torr, рабочее давление 400 мTorr

Вакуумный калибр: компактный калибр Пилани

Кабина:

Два передних интерфейса могут загружать TEM - адаптеры для загрузки боковых стержней TEM и SEM - образцов

Верхний вход используется для размещения на стенде для образцов SEM, компонентах микроскопа или различных вакуумных элементах

Размер отсека 3,5 "диаметр x 2.0" глубина

В переднем окне можно наблюдать плазменное свечение во время работы.

Встроенный электромагнитный клапан изолирует отсек от вакуумного насоса, время вакуума составляет менее 1 минуты, а время выпуска - менее 5 секунд.

Контроль газа: измерение и контроль расхода газа с помощью точного расходомера массы

Тип газа: использование трех отдельных газов (H2, O2 и Ar)

Формула очистки: предлагает ряд рецептов, включая формулы H2 / O2, и поддерживает пользовательские рецепты

Пользовательский интерфейс: интерактивный сенсорный экран, обеспечивающий многоязычный интерфейс, включающий китайский, английский и другие языки

Источник питания: общее напряжение / частота 100VAC - 240VAC / 50 - 60Hz / 1000W

Основные преимущества Solarus по сравнению с традиционными плазменными очистителями:

1) Уникальная формула H2 / O2

2) Более быстрый цикл очистки (менее 2 минут)

3) Интерактивный дизайн сенсорного экрана

4) Предоставление семи проверенных формул с одним нажатием клавиши

5. Два передних пробоотборных отверстия для боковой вставки стержней TEM и SEM

6. Верхнее отверстие для отбора проб может содержать несколько (> 25) TEM - микрорешеток или SEM - стенд / образец

Радиочастотный источник, который автоматически согласовывает мощность, обеспечивает долгосрочную стабильность плазменного источника

8) Точный контроль расхода газа (массовый расходомер)

9) Небольшие повреждения для очистки углеродной пленки Холи

10) Поддержка многоязычия (английский, китайский, японский, корейский, французский, немецкий)

Основные виды применения продукции:

Удаление углеводородов, загрязняющих стенды или образцы TEM и SEM