Описание функции продукта:

Аргонно - ионная полировальная система представляет собой настольный пробоотборник, используемый для подготовки сечения и плоской полировки проб для обнаружения и анализа проб на SEM и других устройствах. Широкий спектр материалов, которые могут быть полированы с помощью IlionII, включает образцы, состоящие из нескольких элементов, а также сплавы, полупроводниковые материалы, полимеры и минералы с различной механической твердостью, размерами и физическими свойствами. Такие, как сечение шва, точка сварки интегральных схем, многослойное тонкопленочное сечение, гранулы, волокнистые сечения, композитные материалы, керамика, металлы и сплавы, минералы горных пород и другие неорганические неметаллы и другие образцы SEM, EBSD и других материалов.

Основные технические параметры продукции:

1. Ионные пушки: две трехкомпонентные конструкции с редкоземельными магнитами (катод, анод и фокусирующий полюс) Ионные пушки Panning, конструкция фокусирующегося ионного пучка, высокая производительность без расходных материалов

2. Угол полировки: от + 10° до - 10°, каждая ионная пушка может регулироваться независимо

Энергия ионного пучка: от 100 V до 8,0 kV

Плотность потока ионного пучка: пик 10 мА / см2

Скорость полировки: 300 мкм / ч (для образца кремния при 8,0 кВ)

6. Погрузка образцов: перегородка образца Ilion, простая упаковка образца, точное положение повторной полировки, многоразовое использование, с Sample Stub может быть передана непосредственно в SEM для наблюдения

Поворот образца: от 0,5 до 6 rpm непрерывно регулируемый

8. Модуляция пучкового потока: функция модуляции ионного пучка, позволяющая полировать сектор сечения (регулируемый угол сектора от 10 до 90 градусов)

Наблюдение за образцами: цифровой зум - микроскоп с программным обеспечением PC и Digital Micrograph для сбора изображений, визуализация в реальном времени (300x - 2200x) и хранение и анализ изображений с помощью программного обеспечения Gatan Digital Micrograph

10. Холодильная станция с жидким азотом: установка холодильной станции с жидким азотом, низкая температура образца zui до - 120°C, эффективное уменьшение повреждения образца ионным пучком

Вакуумная система:

Системы сухих насосов: двухступенчатый диафрагменный насос поддерживает 80 л / с турбомольных насосов

12. Давление: базовое давление 5x10 - 6, рабочее давление 8,5x10 - 5

13. Вакуумный калибр: тип холодного катода, используемый в основной пробной камере; Твердотельные габариты для механических насосов передней ступени

14. Воздушный замок образца: конструкция Whisperlok, время замены образца < 1 мин, без разрушения вакуума камеры образца

Пользовательский интерфейс:

15.10 - дюймовый сенсорный экран: операция проста и может быть полностью запрограммирована для управления всеми параметрами.

16. Режим работы: Настройка различных комбинаций параметров обработки для реализации операции одним нажатием клавиши.

Основные области применения продукции:

Подготовка образцов EBSD

Подготовка образцов сечения

Металлические материалы (сплавы, покрытия)

Нефтяной геологический минерал

Фотоэлектрические материалы

Химические высокомолекулярные материалы

Новые энергетические аккумуляторные материалы

Электронный полупроводниковый прибор

Расположение SEM - схемы PCB

Полировка сечения оцинкованной стали

Зеркало Zn

Fe зерна